微机电系统工程以机、电技术，尤其是微机械为基础，运用微电子技术和微加工技术，进行微纳米和微机电系统内的一系列微型器件的设计、制造及测试等。例如：微泵、微传感器、微加速度计、小飞机、小卫星和微米卫星等。关键词：微传感器 微马达 微型器件 电路
微传感器，微马达，微型器件，电路
《微机电工程材料》、《微机电器件与系统》、《微机械学》、《微纳米测量与测试技术》、《微细加工技术》、《现代传感技术》、《精密工程制造基础和光存储技术》
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